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ウエハー用非接触ハンド(Magic Catch)
ウエハー裏面に触れることなくキャッチング
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仕様

 タイプ ：空気圧浮上
 清浄度 ：0.1μm-Class10以下
 必要流量 ：0.2Mpa 5L/min
 浮上量 ：0.5mm
 オプション ：チャック機構(オリフラ合わせや縦詰めなど)




浮上原理