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Magic Move ＦＰＤ大型ガラス基板用非接触搬送システム
液晶ガラス基板をはじめ、半導体ウエハーなど 流体力学を応用して浮上させ、搬送・プロセス処理するシステム
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MagicMoveとは

MagicMoveとは、圧力ケース上に配置した多孔質体に、圧縮流体を通して形成される流体膜により、対象物を浮上させるシステムです。


浮上の対象となるもの

FPDガラス基板（LCD/PDP/FED/ELなど）
シリコンウエハー


浮上原理





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