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要求にマッチしたクリーン度が得られる高速・無騒音の垂直搬送機。
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クリーンルーム階層間を垂直循環搬送する設備。高清浄度を維持した階層間多量搬送が可能。
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クリーンルーム階層間を垂直循環搬送する設備。高清浄度を維持した階層間多量搬送が可能。
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液晶ガラス基板をはじめ、半導体ウエハーなど流体力学を応用して浮上させ、搬送・プロセス処理するシステム。
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ウエハー・液晶基盤などクリーン環境を必要とする搬送物をクリーン度を維持したまま、安全・確実に搬送する装置。
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棚昇降と移載装置(Robot)昇降を同期させている為、循環動作を止めたり、減速させたりする事なく、かつ搬送物にかかる衝撃も抑えて移載動作を行います。
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ウエハー・液晶基盤などクリーン環境を必要とする搬送物をクリーン度を維持したまま、安全・確実に搬送する装置。
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高速昇降性能に加えて停止精度は0.5ミリ以内。超高速自動垂直搬送システム。
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高所作業を安全・確実に!安全性・効率化の向上に貢献いたします。
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