コンベヤの特徴
- ローラーコンベヤ等により自動搬出入
- ワークのサイズ、重量、形状、設置クリーンルームの条件等により様々なコンベヤを用意
- ワークの底面が平坦な物、パレット等に最適
- コンベヤの乗り継ぎが問題になるときは、コンベヤの移載機も併用可能
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FoupCVの特徴
- 半導体ワークの大量搬送
- 消耗品低減によるメンテナンスフリー
仕様
搬送対象 ： 300mmFoup 300mmFosb
搬送速度 ： 30m/min
振動 ： 0.5G以下
清浄度 ： 0.3μm-Class10
