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移載機
ウエハー・液晶基盤などクリーン環境を必要とする搬送物をクリーン度を維持したまま、安全・確実に搬送する装置
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移載機の特徴

  • かご内にワーク受けテーブルを設け、外部移載機、
    ロボット等でワークを自動搬出入
  • ウエハーキャリア、液晶カセット等に最適
  • 移載機、ロボット等、ワークの形状等により各種用意
  • 垂直搬送装置内にもワーク受けテーブルを導入できる


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バリエーション





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