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２段バッファ
小スペースでのワークのストックが可能
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２段バッファの特徴

  • 省スペースでのカセット一時保管
  • AGV、MGVとのI/Fが可能


仕様

 搬送ワーク
：基板収納カセット
 清浄度
：0.3μm-Class10
 昇降振動
：0.3G以下