循環型リフターは、上下階にわたるクリーンルーム間を清浄度を維持したまま、安全・垂直に搬送する（ウェハーカセット等）装置です。
ループキャリーの特徴
階層間において複数のワーク受け台を循環させることで短時間で大量のワークを他階に 搬送させることが出来ます。
建屋形状、施工方法に合わせた製品の設計、組立て、工事を行い、使用用途に合わせた 製品能力を搭載することが可能です。
ループキャリーの安全対策
- FOUP落下防止柵
- チェーン伸び検知
- チェーン落下防止ガイド
- 柵とロボットの衝突防止
- 扉はみ出し検知
- 点検扉インターロック
清浄度維持について
仕様
タイプ
：自立型
タクト
：9sec/個（400個/hr）
周回速度
：0〜10m/min
清浄度
：0.3μm-Class100
最大高さ
：30m
昇降振動
：0.5G以下
騒音
：68dB以下
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※音声が出ますのでご注意ください。
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