第一施設工業 | 世界のものづくりを支える、産業設備・生産ラインのエンジニアリング企業

MATERIAL TRANSPORT DEVICES
FOR SEMICONDUCTOR 半導体工場搬送システム事業

SEMICONDUCTOR
FACTORY AUTOMATION

半導体製造工場の
安定稼働を支える
高精度搬送システム

半導体工場向け搬送システムの設計・製作・据付・メンテナンスまで一貫対応。
クリーンルーム環境に対応した高精度・高信頼性の搬送設備で、生産ラインの自動化と安定稼働を支えています。

CONVEYING EQUIPMENT 搬送設備

(01) LOOP CARRY 連続垂直搬送機
(02) LIFTER 垂直搬送機
(03) HIGH-SPEED LIFTER 垂直搬送機
(04) ZFS ZERO FOOTPRINT STOCKER
(05) CONVEYOR コンベア

SYSTEM 搬送システム

(01)
ARCHITECTURE

アーキテクチャ

お客様の設備に合わせた柔軟性と拡張性を考慮したソフト設計。工場成長時に最小限でシステムの再設計が可能。
(02)
AI ALGORITHMS

AIアルゴリズム

製造現場の稼働をとめないための最適なルート選択で生産効率の最大化。
(03)
VISIBILITY

可視性

処理プロセスと判断根拠をログとして蓄積しリアルタイムでの可視化が可能。高度なトレーサビリティを確保し、継続的な生産効率の改善活動に貢献。

TRANSPORTATION INFRASTRUCTURE

半導体製造に不可欠な搬送インフラ

NTBC (NTB Controller) の制御動作を、仮想環境上で再現・検証するシミュレーションです。
コントローラー単体の動作確認にとどまらず、NTBを取り巻く装置の流れ全体を仮想環境上に構築している点が特徴です。
EQの処理状況に応じて搬送物を確に一時保持する場面では、「いつ・どの順序で待機させ、送り出すか」という制御の可視化・搬送の流れ全体を左右します。本シミュレーションでは、この制御が繊細に機能しているかを、実機を動かすことなく評価・改善の検討に活用できます。
OHT・EQといった周辺コンポーネントと搬送物・棚の状態を、同一画面内で一元的に可視化できます。
搬送物の滞留箇所やEQの処理待ちを直感的に把握できます。

VALUE 第一施設工業の提供価値

(01)

CUSTOM ORDERS

現場の声に寄り添う
製品カスタマイズ

私たちは、お客様ごとに異なる現場環境や運用方法に合わせて、最適な製品をカスタマイズすることができます。既製品の仕様では対応しきれない細かなご要望にも柔軟に対応し、形状・能力・機能などを用途に合わせて修正設計。現場で働く方々の声に耳を傾けながら、お客様にとって使いやすく、信頼のある設備を提供します。
(02)

COMMERCIALIZATION

ニーズに応じて開発し
製品化まで対応

お客様ごとに異なる課題やご要望に対し、必要に応じて研究開発から取り組みます。既存の技術や製品にとらわれることなく、最適な形状・機能を追求し、製品化まで一貫してサポートします。
(03)

MAINTENANCE SUPPORT

現地に拠点を設けて
保守対応

納品ボリュームに応じて現地に保守部隊を配置し、お客様に近い環境で保守対応を行います。